سلکان کاربائیڈ (SiC) افقی فرنس ٹیوب

مختصر تفصیل:

سیلیکون کاربائیڈ (SiC) افقی فرنس ٹیوب اعلی درجہ حرارت کے گیس فیز ری ایکشنز اور سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن، فوٹو وولٹک مینوفیکچرنگ، اور ایڈوانس میٹریل پروسیسنگ میں استعمال ہونے والے گرمی کے علاج کے لیے مرکزی عمل چیمبر اور پریشر باؤنڈری کے طور پر کام کرتی ہے۔


خصوصیات

تفصیلی خاکہ

48a73966-7323-4a42-b619-7692a8bb99a6
5

پروڈکٹ پوزیشننگ اور ویلیو پروپوزیشن

سیلیکون کاربائیڈ (SiC) افقی فرنس ٹیوب اعلی درجہ حرارت کے گیس فیز ری ایکشنز اور سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن، فوٹو وولٹک مینوفیکچرنگ، اور ایڈوانس میٹریل پروسیسنگ میں استعمال ہونے والے گرمی کے علاج کے لیے مرکزی عمل چیمبر اور پریشر باؤنڈری کے طور پر کام کرتی ہے۔

ایک گھنے CVD-SiC حفاظتی تہہ کے ساتھ مل کر سنگل پیس، اضافی سے تیار کردہ SiC ڈھانچے کے ساتھ انجنیئر، یہ ٹیوب غیر معمولی تھرمل چالکتا، کم سے کم آلودگی، مضبوط مکینیکل سالمیت، اور شاندار کیمیائی مزاحمت فراہم کرتی ہے۔
اس کا ڈیزائن اعلی درجہ حرارت کی یکسانیت، توسیعی خدمت کے وقفوں، اور مستحکم طویل مدتی آپریشن کو یقینی بناتا ہے۔

بنیادی فوائد

  • سسٹم کے درجہ حرارت کی مستقل مزاجی، صفائی ستھرائی اور مجموعی آلات کی تاثیر (OEE) کو بڑھاتا ہے۔

  • صفائی کے لیے ڈاؤن ٹائم کو کم کرتا ہے اور متبادل کے چکر کو لمبا کرتا ہے، ملکیت کی کل لاگت (TCO) کو کم کرتا ہے۔

  • کم سے کم خطرے کے ساتھ اعلی درجہ حرارت کے آکسیڈیٹیو اور کلورین سے بھرپور کیمسٹریوں کو سنبھالنے کے قابل طویل زندگی کا چیمبر فراہم کرتا ہے۔

قابل اطلاق ماحول اور عمل ونڈو

  • رد عمل والی گیسیں۔: آکسیجن (O₂) اور دیگر آکسیڈائزنگ مرکب

  • کیریئر/حفاظتی گیسیں۔: نائٹروجن (N₂) اور انتہائی خالص غیر فعال گیسیں۔

  • ہم آہنگ انواع: کلورین برداشت کرنے والی گیسوں کا سراغ لگانا (ارتکاز اور رہنے کے وقت کی ترکیب پر قابو پانا)

عام عمل: خشک/گیلے آکسیڈیشن، اینیلنگ، بازی، LPCVD/CVD جمع، سطح کی ایکٹیویشن، فوٹو وولٹک پیسیویشن، فنکشنل پتلی فلم کی نشوونما، کاربنائزیشن، نائٹریڈیشن، اور بہت کچھ۔

آپریٹنگ حالات

  • درجہ حرارت: کمرے کا درجہ حرارت 1250 °C تک (ہیٹر کے ڈیزائن اور ΔT کے لحاظ سے 10-15% حفاظتی مارجن کی اجازت دیں)

  • دباؤ: کم پریشر/ایل پی سی وی ڈی ویکیوم کی سطح سے لے کر قریب کے ماحول کے مثبت دباؤ تک (فی خریداری آرڈر کے مطابق حتمی تفصیلات)

مواد اور ساختی منطق

یک سنگی SiC باڈی (اضافی تیار کردہ)

  • اعلی کثافت β-SiC یا ملٹی فیز SiC، جو ایک واحد جزو کے طور پر بنایا گیا ہے — کوئی بریزڈ جوڑ یا سیون جو لیک ہو سکتا ہے یا تناؤ کے مقامات بنا سکتا ہے۔

  • اعلی تھرمل چالکتا تیز تھرمل ردعمل اور بہترین محوری/شعاعی درجہ حرارت کی یکسانیت کو قابل بناتا ہے۔

  • تھرمل ایکسپینشن کا کم، مستحکم گتانک (CTE) بلند درجہ حرارت پر جہتی استحکام اور قابل اعتماد سیل کو یقینی بناتا ہے۔

6CVD SiC فنکشنل کوٹنگ

  • پارٹیکل جنریشن اور دھاتی آئن کے اخراج کو دبانے کے لیے اندرون خانہ جمع، انتہائی خالص (سطح/کوٹنگ کی نجاست <5 پی پی ایم)۔

  • آکسائڈائزنگ اور کلورین برداشت کرنے والی گیسوں کے خلاف شاندار کیمیائی جڑت، دیوار کے حملے یا دوبارہ جمع ہونے سے روکتی ہے۔

  • سنکنرن مزاحمت اور تھرمل ردعمل کو متوازن کرنے کے لیے زون کے لیے مخصوص موٹائی کے اختیارات۔

مشترکہ فائدہ: مضبوط SiC باڈی ساختی طاقت اور حرارت کی ترسیل فراہم کرتی ہے، جبکہ CVD تہہ زیادہ سے زیادہ قابل اعتماد اور تھرو پٹ کے لیے صفائی اور سنکنرن مزاحمت کی ضمانت دیتی ہے۔

کلیدی کارکردگی کے اہداف

  • مسلسل استعمال کا درجہ حرارت:≤ 1250 °C

  • بلک سبسٹریٹ نجاست:<300 پی پی ایم

  • CVD-SiC سطح کی نجاست:<5 پی پی ایم

  • جہتی رواداری: OD ±0.3–0.5 ملی میٹر؛ سماکشیی ≤ 0.3 ملی میٹر فی میٹر (سخت دستیاب)

  • اندرونی دیوار کی کھردری: Ra ≤ 0.8–1.6 µm (پالش یا قریب آئینے کی تکمیل اختیاری)

  • ہیلیم کے اخراج کی شرح: ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s

  • تھرمل جھٹکے کی برداشت: بار بار گرم/سردی سائیکلنگ میں بغیر کسی شگاف کے زندہ رہتا ہے

  • کلین روم اسمبلی: ISO کلاس 5–6 مصدقہ ذرہ/میٹل آئن باقیات کی سطح کے ساتھ

کنفیگریشنز اور آپشنز

  • جیومیٹری: OD 50–400 ملی میٹر (تشخیص کے لحاظ سے بڑا) ایک ٹکڑا طویل تعمیر کے ساتھ؛ دیوار کی موٹائی مکینیکل طاقت، وزن، اور گرمی کے بہاؤ کے لیے موزوں ہے۔

  • اختتامی ڈیزائن: فلینجز، گھنٹی کا منہ، بیونیٹ، لوکیٹنگ رِنگز، او-رنگ گرووز، اور حسب ضرورت پمپ آؤٹ یا پریشر پورٹس۔

  • فنکشنل پورٹس: تھرموکوپل فیڈ تھرو، بصری شیشے کی نشستیں، بائی پاس گیس انلیٹس—سب اعلی درجہ حرارت، لیک ٹائٹ آپریشن کے لیے انجنیئر ہیں۔

  • کوٹنگ اسکیمیں: اندرونی دیوار (پہلے سے طے شدہ)، بیرونی دیوار، یا مکمل کوریج؛ ٹارگٹڈ شیلڈنگ یا اعلی رکاوٹ والے علاقوں کے لیے درجہ بندی کی موٹائی۔

  • سطح کا علاج اور صفائی: متعدد کھردرے درجات، الٹراسونک/DI صفائی، اور حسب ضرورت بیک/ڈرائی پروٹوکول۔

  • لوازمات: گریفائٹ/سیرامک/میٹل فلینجز، مہریں، فکسچر کا پتہ لگانا، آستینوں کو سنبھالنا، اور ذخیرہ کرنے والے جھولے۔

کارکردگی کا موازنہ

میٹرک ایس سی ٹیوب کوارٹج ٹیوب ایلومینا ٹیوب گریفائٹ ٹیوب
تھرمل چالکتا اونچی، یکساں کم کم اعلی
اعلی درجہ حرارت کی طاقت / رینگنا بہترین میلہ اچھا اچھا (آکسیکرن حساس)
تھرمل جھٹکا بہترین کمزور اعتدال پسند بہترین
صفائی / دھاتی آئنوں بہترین (کم) اعتدال پسند اعتدال پسند غریب
آکسیکرن اور Cl-کیمسٹری بہترین میلہ اچھا ناقص (آکسائڈائز)
لاگت بمقابلہ خدمت زندگی درمیانی / لمبی زندگی کم / مختصر درمیانہ/ درمیانہ درمیانہ/ماحولیاتی محدود

 

اکثر پوچھے گئے سوالات (FAQ)

Q1۔ 3D پرنٹ شدہ یک سنگی SiC باڈی کیوں منتخب کریں؟
A. یہ سیون اور بریز کو ختم کرتا ہے جو دباؤ کو لیک یا مرتکز کر سکتے ہیں، اور مستقل جہتی درستگی کے ساتھ پیچیدہ جیومیٹریوں کو سپورٹ کرتا ہے۔

Q2. کیا SiC کلورین برداشت کرنے والی گیسوں کے خلاف مزاحم ہے؟
A. ہاں۔ CVD-SiC مخصوص درجہ حرارت اور دباؤ کی حدود کے اندر انتہائی غیر فعال ہے۔ زیادہ اثر والے علاقوں کے لیے، مقامی موٹی کوٹنگز اور مضبوط پرج/ایگزاسٹ سسٹم کی سفارش کی جاتی ہے۔

Q3. یہ کوارٹج ٹیوبوں کو کیسے بہتر کرتا ہے؟
A. SiC طویل سروس کی زندگی، بہتر درجہ حرارت کی یکسانیت، کم ذرہ/دھاتی آئن آلودگی، اور بہتر TCO پیش کرتا ہے—خاص طور پر ~900 °C سے زیادہ یا آکسیڈائزنگ/کلورینیٹڈ ماحول میں۔

Q4. کیا ٹیوب تیزی سے تھرمل ریمپنگ کو سنبھال سکتی ہے؟
A. ہاں، بشرطیکہ زیادہ سے زیادہ ΔT اور ریمپ ریٹ کے رہنما خطوط کا مشاہدہ کیا جائے۔ ایک اعلی κ SiC باڈی کو پتلی سی وی ڈی پرت کے ساتھ جوڑنا تیز تھرمل ٹرانزیشن کو سپورٹ کرتا ہے۔

Q5. متبادل کی ضرورت کب ہے؟
A. ٹیوب کو تبدیل کریں اگر آپ کو فلینج یا کنارے کی دراڑیں، کوٹنگ کے گڑھے یا سپلیشن، رساو کی بڑھتی ہوئی شرح، نمایاں درجہ حرارت پروفائل بڑھنے، یا غیر معمولی ذرہ پیدا ہونے کا پتہ چلتا ہے۔

ہمارے بارے میں

XKH خصوصی آپٹیکل شیشے اور نئے کرسٹل مواد کی ہائی ٹیک ترقی، پیداوار، اور فروخت میں مہارت رکھتا ہے۔ ہماری مصنوعات آپٹیکل الیکٹرانکس، کنزیومر الیکٹرانکس اور ملٹری کی خدمت کرتی ہیں۔ ہم سفائر آپٹیکل پرزے، موبائل فون لینس کور، سیرامکس، ایل ٹی، سیلیکون کاربائیڈ ایس آئی سی، کوارٹز، اور سیمی کنڈکٹر کرسٹل ویفرز پیش کرتے ہیں۔ ہنر مند مہارت اور جدید آلات کے ساتھ، ہم غیر معیاری مصنوعات کی پروسیسنگ میں سبقت لے جاتے ہیں، جس کا مقصد ایک اہم آپٹو الیکٹرانک میٹریل ہائی ٹیک انٹرپرائز بننا ہے۔

456789

  • پچھلا:
  • اگلا:

  • اپنا پیغام یہاں لکھیں اور ہمیں بھیجیں۔