عنوان: چپ مینوفیکچرنگ میں FOUP کیا ہے؟

مندرجات کا جدول

FOUP کا جائزہ اور بنیادی افعال

FOUP کی ساخت اور ڈیزائن کی خصوصیات

FOUP کی درجہ بندی اور درخواست کے رہنما خطوط

4. سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں FOUP کے آپریشنز اور اہمیت

5. تکنیکی چیلنجز اور مستقبل کی ترقی کے رجحانات

6.XKH کے حسب ضرورت حل اور سروس سپورٹ

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں، فرنٹ اوپننگ یونیفائیڈ پوڈ (FOUP) ایک اہم کنٹینر ہے جو ویفرز کی حفاظت، نقل و حمل اور ذخیرہ کرنے کے لیے استعمال ہوتا ہے۔ اس کے اندرونی حصے میں 300 ملی میٹر ویفرز کے 25 ٹکڑوں کو ایڈجسٹ کیا جا سکتا ہے، اور اس کے اہم اجزاء میں سامنے سے کھولنے والا کنٹینر اور کھولنے اور بند کرنے کے لیے ایک وقف شدہ دروازے کا فریم شامل ہے۔ FOUP 12 انچ ویفر فیبس کے اندر خودکار نقل و حمل کے نظام میں ایک بنیادی کیریئر ہے۔ یہ عام طور پر بند حالت میں لے جایا جاتا ہے اور صرف اس وقت کھلتا ہے جب سامان لوڈ کرنے والی بندرگاہ کی طرف دھکیل دیا جاتا ہے، جس سے ویفرز کو سامان کی لوڈنگ/ان لوڈنگ پورٹ میں منتقل کیا جا سکتا ہے۔

FOUP کا ڈیزائن مائیکرو انوائرمنٹ کی ضروریات کے مطابق بنایا گیا ہے۔ اس میں ویفر داخل کرنے کے لیے عقب میں سلاٹ موجود ہیں، اور ڈھکن کو خاص طور پر اوپنر کے کلیمپ سے ملنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ ویفر ہینڈلنگ روبوٹ کلاس 1 صاف ہوا کے ماحول میں کام کرتے ہیں، اس بات کو یقینی بناتے ہیں کہ ٹرانسمیشن کے دوران ویفرز آلودہ نہ ہوں۔ مزید برآں، FOUP کو پروسیس ٹولز کے درمیان ایک خودکار میٹریل ہینڈلنگ سسٹم (AMHS) کے ذریعے منتقل کیا جاتا ہے۔ جدید ویفر فیب زیادہ تر نقل و حمل کے لیے اوور ہیڈ ریل سسٹم کا استعمال کرتے ہیں، جب کہ کچھ پرانے فیب زمینی بنیاد پر خودکار گائیڈڈ گاڑیاں (AGVs) استعمال کر سکتے ہیں۔

FOUP نہ صرف خودکار ویفر ٹرانسفر کو قابل بناتا ہے بلکہ اسٹوریج کا کام بھی کرتا ہے۔ متعدد مینوفیکچرنگ اقدامات کی وجہ سے، ویفرز کو پورے عمل کے بہاؤ کو مکمل کرنے میں مہینوں لگ سکتے ہیں۔ اعلی ماہانہ پیداوار کے حجم کے ساتھ مل کر، اس کا مطلب ہے کہ ایک فیب کے اندر دسیوں ہزار ویفرز کسی بھی وقت ٹرانزٹ یا عارضی اسٹوریج میں ہوتے ہیں۔ سٹوریج کے دوران، FOUPs کو وقتاً فوقتاً نائٹروجن سے صاف کیا جاتا ہے تاکہ آلودگیوں کو ویفرز سے رابطہ کرنے سے روکا جا سکے، تاکہ ایک صاف اور قابل اعتماد پیداواری عمل کو یقینی بنایا جا سکے۔

1. FOUP کے افعال اور اہمیت

FOUP کا بنیادی کام ویفرز کو بیرونی جھٹکے اور آلودگی سے بچانا ہے، خاص طور پر منتقلی کے دوران پیداوار پر پڑنے والے اثرات سے بچنا۔ یہ گیس صاف کرنے اور لوکل ایٹموسفیئر کنٹرول (LAC) جیسے طریقوں کے ذریعے نمی کو مؤثر طریقے سے روکتا ہے، اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ اگلے مینوفیکچرنگ مرحلے کا انتظار کرتے ہوئے ویفرز محفوظ حالت میں رہیں۔ اس کا سیل بند اور کنٹرول شدہ نظام صرف ضروری مرکبات اور عناصر کو داخل ہونے کی اجازت دیتا ہے، جو ویفرز پر VOCs، آکسیجن اور نمی کے منفی اثرات کو نمایاں طور پر کم کرتا ہے۔

چونکہ 25 ویفرز سے بھری ہوئی ایک FOUP کا وزن 9 کلوگرام تک ہو سکتا ہے، اس لیے اس کی نقل و حمل کو خودکار میٹریل ہینڈلنگ سسٹم (AMHS) پر انحصار کرنا چاہیے۔ اس کی سہولت کے لیے، FOUP کو کپلنگ پلیٹوں، پنوں اور سوراخوں کے مختلف امتزاج کے ساتھ ڈیزائن کیا گیا ہے، اور آسانی سے شناخت اور درجہ بندی کے لیے RFID الیکٹرانک ٹیگز سے لیس ہے۔ اس خودکار ہینڈلنگ کے لیے تقریباً کسی دستی آپریشن کی ضرورت نہیں ہے، جس سے خرابی کی شرح کو بہت کم کیا جا سکتا ہے اور مینوفیکچرنگ کے عمل کی حفاظت اور درستگی میں اضافہ ہوتا ہے۔

2. FOUP کی ساخت اور درجہ بندی

FOUP کے عام طول و عرض تقریباً 420 ملی میٹر چوڑائی، 335 ملی میٹر گہرائی، اور اونچائی 335 ملی میٹر ہیں۔ اس کے بنیادی ساختی اجزاء میں شامل ہیں: اوور ہیڈ ہوسٹ ٹرانسپورٹ کے لیے ایک ٹاپ OHT (مشروم ہیڈ)؛ سامان ویفر تک رسائی کے لیے سامنے کا دروازہ؛ سائیڈ ہینڈل، اکثر مختلف آلودگی کی سطحوں کے ساتھ عمل کے علاقوں میں فرق کرنے کے لیے رنگ کوڈ کیا جاتا ہے۔ میسج کارڈز رکھنے کے لیے کارڈ ایریا؛ اور نیچے کا RFID ٹیگ جو FOUP کے لیے منفرد شناخت کنندہ کے طور پر کام کرتا ہے، جس سے ٹولز اور اوور ہیڈ ہوسٹ اسے پہچان سکتے ہیں۔ ٹولز کے ساتھ ملاپ اور عمل کے علاقوں کو ممتاز کرنے کے لیے بیس چار شناختی اور پوزیشننگ سوراخوں سے بھی لیس ہے۔

استعمال کی بنیاد پر، FOUPs کو تین اقسام میں تقسیم کیا گیا ہے: PRD (پیداوار کے لیے)، ENG (انجینئرنگ ویفرز کے لیے) اور MON (مانیٹر ویفرز کے لیے)۔ PRD FOUPs کو پروڈکٹ مینوفیکچرنگ کے لیے استعمال کیا جا سکتا ہے، ENG کی اقسام R&D یا تجربات کے لیے موزوں ہیں، اور MON کی اقسام CMP اور DIFF جیسے اقدامات کی نگرانی کے لیے وقف ہیں۔ یہ نوٹ کرنا ضروری ہے کہ PRD FOUPs کو ENG اور MON دونوں مقاصد کے لیے استعمال کیا جا سکتا ہے، اور ENG کی قسمیں MON کے لیے استعمال کی جا سکتی ہیں، لیکن ریورس آپریشن معیار کے خطرات کا باعث بنتا ہے۔

آلودگی کی سطح کے لحاظ سے درجہ بندی، FOUPs کو FE FOUP (فرنٹ اینڈ پراسیس، دھات سے پاک)، BE FOUP (بیک اینڈ پراسیس، دھات پر مشتمل ہے)، اور دھات کے مخصوص عمل جیسے NI FOUP، CU FOUP، اور CO FOUP میں تقسیم کیا جا سکتا ہے۔ مختلف عملوں کے لیے FOUPs کو عام طور پر سائیڈ ہینڈلز یا دروازے کے پینل کے رنگ سے پہچانا جاتا ہے۔ فرنٹ اینڈ پروسیسز سے FOUPs کو بیک اینڈ پروسیس میں استعمال کیا جا سکتا ہے، لیکن بیک اینڈ FOUPs کو کبھی بھی فرنٹ اینڈ پروسیسز میں استعمال نہیں کرنا چاہیے، کیونکہ اس سے آلودگی کے خطرات پیدا ہوں گے۔

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایک اہم کیریئر کے طور پر، FOUP، اعلی آٹومیشن اور سخت آلودگی کنٹرول کے ذریعے، پیداواری عمل کے دوران ویفرز کی حفاظت اور صفائی کو یقینی بناتا ہے، جو اسے جدید ویفر فیبس میں ایک ناگزیر بنیادی ڈھانچہ بناتا ہے۔

نتیجہ

XKH کسٹمرز کو انتہائی حسب ضرورت فرنٹ اوپننگ یونیفائیڈ پوڈ (FOUP) حل فراہم کرنے کے لیے پرعزم ہے، آپ کے مخصوص عمل کی ضروریات اور آلات کے انٹرفیس کی وضاحتوں پر سختی سے عمل پیرا ہے۔ اعلی درجے کی مادی ٹیکنالوجی اور درست مینوفیکچرنگ کے عمل سے فائدہ اٹھاتے ہوئے، ہم اس بات کو یقینی بناتے ہیں کہ ہر FOUP پروڈکٹ غیر معمولی ہوا کی تنگی، صفائی ستھرائی اور مکینیکل استحکام فراہم کرتا ہے۔ ہماری تکنیکی ٹیم گہری صنعت کی مہارت رکھتی ہے، جس میں جامع لائف سائیکل سپورٹ پیش کی جاتی ہے- انتخاب سے متعلق مشاورت اور ساختی اصلاح سے لے کر صفائی اور دیکھ بھال تک — FOUP اور آپ کے آٹومیٹڈ میٹریل ہینڈلنگ سسٹم (AMHS) کے ساتھ ساتھ پروسیسنگ آلات کے درمیان ہموار انضمام اور موثر تعاون کو یقینی بنانا۔ ہم اپنے بنیادی مقاصد کے طور پر ویفرز کی حفاظت اور پیداواری پیداوار میں اضافہ کو مستقل طور پر ترجیح دیتے ہیں۔ جدید پروڈکٹس اور ہمہ جہت تکنیکی خدمات کے ذریعے، ہم آپ کے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل کے لیے ایک مضبوط گارنٹی فراہم کرتے ہیں، بالآخر پیداواری کارکردگی اور مصنوعات کی پیداوار کو بڑھاتے ہیں۔