الٹرا ہائی وولٹیج MOSFETs کے لیے 4H-SiC ایپیٹیکسیل ویفرز (100–500 μm، 6 انچ)
تفصیلی خاکہ
پروڈکٹ کا جائزہ
الیکٹرک گاڑیوں، سمارٹ گرڈز، قابل تجدید توانائی کے نظاموں، اور اعلیٰ طاقت والے صنعتی آلات کی تیز رفتار ترقی نے سیمی کنڈکٹر آلات کی فوری ضرورت پیدا کر دی ہے جو زیادہ وولٹیج، زیادہ بجلی کی کثافت، اور زیادہ کارکردگی کو سنبھالنے کے قابل ہیں۔ وسیع بینڈ گیپ سیمی کنڈکٹرز میں،سلکان کاربائیڈ (SiC)اس کے وسیع بینڈ گیپ، اعلی تھرمل چالکتا، اور اعلیٰ اہم برقی میدان کی طاقت کے لیے نمایاں ہے۔
ہماری4H-SiC ایپیٹیکسیل ویفرزکے لئے خاص طور پر انجینئر ہیں۔الٹرا ہائی وولٹیج MOSFET ایپلی کیشنز. سے لے کر epitaxial تہوں کے ساتھ100 μm سے 500 μm on 6 انچ (150 ملی میٹر) سبسٹریٹسیہ ویفرز غیر معمولی کرسٹل کوالٹی اور اسکیل ایبلٹی کو برقرار رکھتے ہوئے کے وی کلاس ڈیوائسز کے لیے درکار بڑھے ہوئے علاقوں کو فراہم کرتے ہیں۔ معیاری موٹائی میں 100 μm، 200 μm، اور 300 μm شامل ہیں، حسب ضرورت دستیاب ہے۔
ایپیٹیکسیل پرت کی موٹائی
epitaxial تہہ MOSFET کی کارکردگی کا تعین کرنے میں فیصلہ کن کردار ادا کرتی ہے، خاص طور پر درمیانی توازنخرابی وولٹیجاورپر مزاحمت.
-
100–200 μm: درمیانے درجے سے ہائی وولٹیج MOSFETs کے لیے موزوں، ترسیل کی کارکردگی اور روکنے کی طاقت کا بہترین توازن پیش کرتا ہے۔
-
200–500 μm: الٹرا ہائی وولٹیج ڈیوائسز (10 kV+) کے لیے موزوں، مضبوط خرابی کی خصوصیات کے لیے لمبے بڑھے ہوئے علاقوں کو قابل بناتا ہے۔
پوری رینج میں،موٹائی کی یکسانیت کو ±2٪ کے اندر کنٹرول کیا جاتا ہےویفر سے ویفر اور بیچ سے بیچ میں مستقل مزاجی کو یقینی بنانا۔ یہ لچک ڈیزائنرز کو بڑے پیمانے پر پیداوار میں تولیدی صلاحیت کو برقرار رکھتے ہوئے اپنی ٹارگٹ وولٹیج کلاسز کے لیے ڈیوائس کی کارکردگی کو ٹھیک کرنے کی اجازت دیتی ہے۔
مینوفیکچرنگ کا عمل
ہمارے wafers کا استعمال کرتے ہوئے من گھڑت ہیںجدید ترین CVD (کیمیائی بخارات جمع) ایپیٹیکسی۔، جو موٹائی، ڈوپنگ، اور کرسٹل کے معیار کے عین مطابق کنٹرول کو قابل بناتا ہے، یہاں تک کہ بہت موٹی تہوں کے لیے بھی۔
-
سی وی ڈی ایپیٹیکسی- اعلی پاکیزگی والی گیسیں اور بہتر حالات ہموار سطحوں اور کم خرابی کی کثافت کو یقینی بناتے ہیں۔
-
موٹی پرت کی نمو- ملکیتی عمل کی ترکیبیں ایپیٹیکسیل موٹائی تک کی اجازت دیتی ہیں۔500 μmبہترین یکسانیت کے ساتھ۔
-
ڈوپنگ کنٹرول- کے درمیان سایڈست حراستی1×10¹⁴ – 1×10¹⁶ cm⁻³5% سے بہتر یکسانیت کے ساتھ۔
-
سطح کی تیاری- ویفرز گزرتے ہیں۔سی ایم پی پالش کرنااور سخت معائنہ، گیٹ آکسیڈیشن، فوٹو لیتھوگرافی، اور میٹالائزیشن جیسے جدید عمل کے ساتھ مطابقت کو یقینی بنانا۔
کلیدی فوائد
-
الٹرا ہائی وولٹیج کی صلاحیت- موٹی ایپیٹیکسیل تہیں (100–500 μm) kV کلاس MOSFET ڈیزائن کو سپورٹ کرتی ہیں۔
-
غیر معمولی کرسٹل کوالٹی- کم نقل مکانی اور بیسل ہوائی جہاز کی خرابی کی کثافت وشوسنییتا کو یقینی بناتی ہے اور رساو کو کم کرتی ہے۔
-
6 انچ بڑے سبسٹریٹس- اعلی حجم کی پیداوار، فی آلے کی کم قیمت، اور فیب مطابقت کے لیے معاونت۔
-
سپیریئر تھرمل پراپرٹیز- اعلی تھرمل چالکتا اور وسیع بینڈ گیپ اعلی طاقت اور درجہ حرارت پر موثر آپریشن کو قابل بناتا ہے۔
-
حسب ضرورت پیرامیٹرز- موٹائی، ڈوپنگ، واقفیت، اور سطح کی تکمیل کو مخصوص ضروریات کے مطابق بنایا جا سکتا ہے۔
عام نردجیکرن
| پیرامیٹر | تفصیلات |
|---|---|
| چالکتا کی قسم | این قسم (نائٹروجن ڈوپڈ) |
| مزاحمتی صلاحیت | کوئی بھی |
| آف ایکسس اینگل | 4° ± 0.5° (کی طرف [11-20]) |
| کرسٹل واقفیت | (0001) سی-چہرہ |
| موٹائی | 200–300 μm (اپنی مرضی کے مطابق 100–500 μm) |
| سطح ختم | فرنٹ: سی ایم پی پالش (ایپی ریڈی) پیچھے: لیپڈ یا پالش |
| ٹی ٹی وی | ≤ 10 μm |
| کمان/وارپ | ≤ 20 μm |
درخواست کے علاقے
4H-SiC epitaxial wafers مثالی طور پر موزوں ہیں۔الٹرا ہائی وولٹیج سسٹمز میں MOSFETsبشمول:
-
الیکٹرک گاڑی کے کرشن انورٹرز اور ہائی وولٹیج چارجنگ ماڈیول
-
سمارٹ گرڈ ٹرانسمیشن اور تقسیم کا سامان
-
قابل تجدید توانائی کے انورٹرز (شمسی، ہوا، ذخیرہ)
-
ہائی پاور انڈسٹریل سپلائیز اور سوئچنگ سسٹم
اکثر پوچھے گئے سوالات
Q1: چالکتا کی قسم کیا ہے؟
A1: N-type، نائٹروجن کے ساتھ ڈوپڈ — MOSFETs اور دیگر پاور ڈیوائسز کے لیے صنعت کا معیار۔
Q2: کون سی ایپیٹیکسیل موٹائیاں دستیاب ہیں؟
A2: 100–500 μm، معیاری اختیارات کے ساتھ 100 μm، 200 μm، اور 300 μm۔ درخواست پر اپنی مرضی کے مطابق موٹائی دستیاب ہے۔
Q3: ویفر واقفیت اور آف محور زاویہ کیا ہے؟
A3: (0001) سی چہرہ، 4° ± 0.5° آف محور کے ساتھ [11-20] سمت کی طرف۔
ہمارے بارے میں
XKH خصوصی آپٹیکل شیشے اور نئے کرسٹل مواد کی ہائی ٹیک ترقی، پیداوار، اور فروخت میں مہارت رکھتا ہے۔ ہماری مصنوعات آپٹیکل الیکٹرانکس، کنزیومر الیکٹرانکس اور ملٹری کی خدمت کرتی ہیں۔ ہم سفائر آپٹیکل پرزے، موبائل فون لینس کور، سیرامکس، ایل ٹی، سیلیکون کاربائیڈ ایس آئی سی، کوارٹز، اور سیمی کنڈکٹر کرسٹل ویفرز پیش کرتے ہیں۔ ہنر مند مہارت اور جدید آلات کے ساتھ، ہم غیر معیاری مصنوعات کی پروسیسنگ میں سبقت لے جاتے ہیں، جس کا مقصد ایک اہم آپٹو الیکٹرانک میٹریل ہائی ٹیک انٹرپرائز بننا ہے۔
