سلکان کاربائیڈ (SiC) ویفر بوٹ
تفصیلی خاکہ
کوارٹج گلاس کا جائزہ
Silicon Carbide (SiC) ویفر بوٹ ایک سیمی کنڈکٹر پراسیس کیریئر ہے جو اعلیٰ پاکیزگی والے SiC مواد سے بنا ہے، جو کہ اعلی درجہ حرارت کے اہم عمل جیسے کہ epitaxy، oxidation، diffusion، اور annealing کے دوران ویفرز کو پکڑنے اور منتقل کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔
پاور سیمی کنڈکٹرز اور وسیع بینڈ گیپ ڈیوائسز کی تیز رفتار ترقی کے ساتھ، روایتی کوارٹج کشتیوں کو حدوں کا سامنا کرنا پڑتا ہے جیسے کہ اعلی درجہ حرارت پر خرابی، ذرہ کی شدید آلودگی، اور مختصر سروس لائف۔ اعلی تھرمل استحکام، کم آلودگی، اور طویل زندگی کی خاصیت والی SiC ویفر بوٹس تیزی سے کوارٹز بوٹس کی جگہ لے رہی ہیں اور SiC ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں ترجیحی انتخاب بن رہی ہیں۔
کلیدی خصوصیات
1. مواد کے فوائد
-
کے ساتھ اعلی طہارت SiC سے تیاراعلی سختی اور طاقت.
-
2700 ° C سے اوپر پگھلنے کا نقطہ، کوارٹج سے بہت زیادہ، انتہائی ماحول میں طویل مدتی استحکام کو یقینی بناتا ہے۔
2. تھرمل پراپرٹیز
-
تیز رفتار اور یکساں حرارت کی منتقلی کے لیے اعلی تھرمل چالکتا، ویفر تناؤ کو کم سے کم کرتا ہے۔
-
تھرمل ایکسپینشن کا گتانک (CTE) قریب سے SiC سبسٹریٹس سے میل کھاتا ہے، ویفر کے جھکنے اور کریکنگ کو کم کرتا ہے۔
3. کیمیائی استحکام
-
اعلی درجہ حرارت اور مختلف ماحول (H₂، N₂، Ar، NH₃، وغیرہ) کے تحت مستحکم۔
-
بہترین آکسیکرن مزاحمت، سڑنے اور ذرہ پیدا کرنے سے روکتا ہے۔
4. عمل کی کارکردگی
-
ہموار اور گھنی سطح ذرات کے بہانے اور آلودگی کو کم کرتی ہے۔
-
طویل مدتی استعمال کے بعد جہتی استحکام اور بوجھ کی صلاحیت کو برقرار رکھتا ہے۔
5. لاگت کی کارکردگی
-
کوارٹج کشتیوں کے مقابلے میں 3-5 گنا طویل سروس لائف۔
-
کم دیکھ بھال کی فریکوئنسی، ڈاؤن ٹائم اور متبادل اخراجات کو کم کرنا۔
ایپلی کیشنز
-
ایس آئی سی ایپیٹیکسی: اعلی درجہ حرارت کے اپیٹیکسیل نمو کے دوران 4 انچ، 6 انچ، اور 8 انچ کے SiC سبسٹریٹس کو سپورٹ کرنا۔
-
پاور ڈیوائس فیبریکیشن: SiC MOSFETs، Schottky Barrier Diodes (SBDs)، IGBTs، اور دیگر آلات کے لیے مثالی۔
-
تھرمل علاج: اینیلنگ، نائٹرائڈیشن، اور کاربنائزیشن کے عمل۔
-
آکسیکرن اور بازی: اعلی درجہ حرارت کے آکسیکرن اور بازی کے لیے مستحکم ویفر سپورٹ پلیٹ فارم۔
تکنیکی وضاحتیں
| آئٹم | تفصیلات |
|---|---|
| مواد | اعلی پاکیزگی سلکان کاربائیڈ (SiC) |
| ویفر سائز | 4 انچ / 6 انچ / 8 انچ (اپنی مرضی کے مطابق) |
| زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ درجہ حرارت | ≤ 1800°C |
| تھرمل توسیع CTE | 4.2 × 10⁻⁶ /K (SIC سبسٹریٹ کے قریب) |
| تھرمل چالکتا | 120-200 W/m·K |
| سطح کی کھردری | Ra <0.2 μm |
| متوازی | ±0.1 ملی میٹر |
| سروس کی زندگی | ≥ 3× کوارٹج کشتیوں سے لمبا |
موازنہ: کوارٹج بوٹ بمقابلہ SiC بوٹ
| طول و عرض | کوارٹج بوٹ | سی سی بوٹ |
|---|---|---|
| درجہ حرارت کی مزاحمت | ≤ 1200 ° C، اعلی درجہ حرارت پر اخترتی۔ | ≤ 1800 ° C، حرارتی طور پر مستحکم |
| سی ٹی ای سی سی کے ساتھ میچ | بڑی مماثلت، ویفر تناؤ کا خطرہ | میچ بند کریں، ویفر کریکنگ کو کم کرتا ہے۔ |
| ذرہ آلودگی | زیادہ، نجاست پیدا کرتا ہے۔ | نچلی، ہموار اور گھنی سطح |
| سروس کی زندگی | مختصر، بار بار متبادل | لمبی، 3–5× لمبی عمر |
| مناسب عمل | روایتی سی ایپیٹکسی | SiC epitaxy اور پاور ڈیوائسز کے لیے آپٹمائزڈ |
اکثر پوچھے گئے سوالات - سلکان کاربائیڈ (SiC) ویفر بوٹس
1. ایک SiC ویفر بوٹ کیا ہے؟
ایک SiC ویفر بوٹ ایک سیمی کنڈکٹر پروسیس کیریئر ہے جو اعلی طہارت کے سلکان کاربائیڈ سے بنی ہے۔ یہ اعلی درجہ حرارت کے عمل جیسے کہ ایپیٹیکسی، آکسیکرن، بازی، اور اینیلنگ کے دوران ویفرز کو پکڑنے اور ٹرانسپورٹ کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔ روایتی کوارٹج کشتیوں کے مقابلے میں، SiC ویفر کشتیاں اعلی تھرمل استحکام، کم آلودگی، اور طویل سروس لائف پیش کرتی ہیں۔
2. کوارٹج کشتیوں پر SiC ویفر کشتیاں کیوں منتخب کریں؟
-
اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت: 1800°C بمقابلہ کوارٹج (≤1200°C) تک مستحکم۔
-
بہتر CTE میچ: SiC سبسٹریٹس کے قریب، ویفر تناؤ اور کریکنگ کو کم کرنا۔
-
لوئر پارٹیکل جنریشن: ہموار، گھنی سطح آلودگی کو کم کرتی ہے۔
-
لمبی زندگی: کوارٹج کشتیوں سے 3-5 گنا لمبی، ملکیت کی لاگت کو کم کرتی ہے۔
3. SiC ویفر کشتیاں کن ویفر سائز کو سپورٹ کر سکتی ہیں؟
ہم کے لیے معیاری ڈیزائن فراہم کرتے ہیں۔4 انچ، 6 انچ، اور 8 انچویفرز، کسٹمر کی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے دستیاب مکمل حسب ضرورت کے ساتھ۔
4. عام طور پر SiC ویفر بوٹس کو کن عملوں میں استعمال کیا جاتا ہے؟
-
ایس آئی سی ایپیٹیکسیل نمو
-
پاور سیمی کنڈکٹر ڈیوائس مینوفیکچرنگ (SiC MOSFETs، SBDs، IGBTs)
-
اعلی درجہ حرارت کی اینیلنگ، نائٹرائڈیشن، اور کاربنائزیشن
-
آکسیکرن اور بازی کے عمل
ہمارے بارے میں
XKH خصوصی آپٹیکل شیشے اور نئے کرسٹل مواد کی ہائی ٹیک ترقی، پیداوار، اور فروخت میں مہارت رکھتا ہے۔ ہماری مصنوعات آپٹیکل الیکٹرانکس، کنزیومر الیکٹرانکس اور ملٹری کی خدمت کرتی ہیں۔ ہم سفائر آپٹیکل پرزے، موبائل فون لینس کور، سیرامکس، ایل ٹی، سیلیکون کاربائیڈ ایس آئی سی، کوارٹز، اور سیمی کنڈکٹر کرسٹل ویفرز پیش کرتے ہیں۔ ہنر مند مہارت اور جدید آلات کے ساتھ، ہم غیر معیاری مصنوعات کی پروسیسنگ میں سبقت لے جاتے ہیں، جس کا مقصد ایک اہم آپٹو الیکٹرانک میٹریل ہائی ٹیک انٹرپرائز بننا ہے۔










