سلیکن کاربائیڈ ڈائمنڈ وائر کاٹنے والی مشین 4/6/8/12 انچ SiC انگوٹ پروسیسنگ
کام کرنے کے اصول:
1. انگوٹ فکسیشن: SiC انگوٹ (4H/6H-SiC) کو فکسچر کے ذریعے کٹنگ پلیٹ فارم پر فکس کیا جاتا ہے تاکہ پوزیشن کی درستگی (±0.02mm) کو یقینی بنایا جا سکے۔
2. ڈائمنڈ لائن موومنٹ: ڈائمنڈ لائن (سطح پر الیکٹروپلیٹڈ ہیرے کے ذرات) تیز رفتار گردش کے لیے گائیڈ وہیل سسٹم کے ذریعے چلائی جاتی ہے (لائن کی رفتار 10~30m/s)۔
3. کٹنگ فیڈ: پنڈ کو مقررہ سمت کے ساتھ کھلایا جاتا ہے، اور ڈائمنڈ لائن کو ایک ساتھ متعدد متوازی لائنوں (100~500 لائنوں) کے ساتھ کاٹا جاتا ہے تاکہ متعدد ویفرز بن سکیں۔
4. کولنگ اور چپ ہٹانا: گرمی کے نقصان کو کم کرنے اور چپس کو ہٹانے کے لیے کاٹنے والے حصے میں کولنٹ (ڈی آئنائزڈ واٹر + ایڈیٹیو) چھڑکیں۔
کلیدی پیرامیٹرز:
1. کاٹنے کی رفتار: 0.2~1.0mm/min (کرسٹل سمت اور SiC کی موٹائی پر منحصر ہے)۔
2. لائن کا تناؤ: 20~50N (لائن کو توڑنے میں بہت زیادہ آسان، کاٹنے کی درستگی کو بہت کم متاثر کرتا ہے)۔
3. ویفر کی موٹائی: معیاری 350 ~ 500μm، ویفر 100μm تک پہنچ سکتا ہے۔
اہم خصوصیات:
(1) کاٹنے کی درستگی
موٹائی رواداری: ±5μm (@350μm ویفر)، روایتی مارٹر کٹنگ (±20μm) سے بہتر۔
سطح کی کھردری: Ra<0.5μm (بعد میں پروسیسنگ کی مقدار کو کم کرنے کے لیے کوئی اضافی پیسنے کی ضرورت نہیں ہے)۔
وار پیج: <10μm (بعد میں پالش کرنے کی دشواری کو کم کریں)۔
(2) پروسیسنگ کی کارکردگی
ملٹی لائن کٹنگ: ایک وقت میں 100~500 ٹکڑے کاٹنا، پیداواری صلاحیت میں 3~5 گنا اضافہ (بمقابلہ سنگل لائن کٹ)۔
لائن لائف: ڈائمنڈ لائن 100~300km SiC کاٹ سکتی ہے (انگٹ کی سختی اور عمل کی اصلاح پر منحصر ہے)۔
(3) کم نقصان پروسیسنگ
کنارے ٹوٹنا: <15μm (روایتی کٹنگ>50μm)، ویفر کی پیداوار کو بہتر بنائیں۔
ذیلی سطح کو پہنچنے والے نقصان پرت: <5μm (پالش ہٹانے کو کم کریں)۔
(4) ماحولیاتی تحفظ اور معیشت
کوئی مارٹر آلودگی نہیں: مارٹر کاٹنے کے مقابلے فضلہ مائع کو ٹھکانے لگانے کے اخراجات میں کمی۔
مواد کا استعمال: کاٹنا نقصان <100μm/ کٹر، ایس آئی سی خام مال کی بچت۔
کاٹنے کا اثر:
1. ویفر کوالٹی: سطح پر کوئی میکروسکوپک دراڑیں نہیں، چند خوردبین نقائص (قابو پانے کے قابل سندچیوتی توسیع)۔ کسی نہ کسی طرح چمکانے والے لنک میں براہ راست داخل ہوسکتے ہیں، عمل کے بہاؤ کو مختصر کرسکتے ہیں۔
2. مستقل مزاجی: بیچ میں ویفر کی موٹائی کا انحراف <±3% ہے، جو خودکار پیداوار کے لیے موزوں ہے۔
3.Applicability: سپورٹ 4H/6H-SiC پنڈ کاٹنے، conductive/نیم موصل قسم کے ساتھ ہم آہنگ۔
تکنیکی تفصیلات:
| تفصیلات | تفصیلات |
| طول و عرض (L × W × H) | 2500x2300x2500 یا اپنی مرضی کے مطابق بنائیں |
| پروسیسنگ مواد کے سائز کی حد | 4، 6، 8، 10، 12 انچ سلکان کاربائیڈ |
| سطح کا کھردرا پن | Ra≤0.3u |
| اوسط کاٹنے کی رفتار | 0.3 ملی میٹر/منٹ |
| وزن | 5.5t |
| کاٹنے کے عمل کی ترتیب کے مراحل | ≤30 قدم |
| آلات کا شور | ≤80 ڈی بی |
| اسٹیل وائر کا تناؤ | 0~110N(0.25 تار کا تناؤ 45N ہے) |
| اسٹیل وائر کی رفتار | 0~30m/S |
| کل طاقت | 50 کلو واٹ |
| ڈائمنڈ تار کا قطر | ≥0.18 ملی میٹر |
| چپٹا پن ختم کریں۔ | ≤0.05 ملی میٹر |
| کاٹنے اور توڑنے کی شرح | ≤1٪ (سوائے انسانی وجوہات، سلیکون مواد، لائن، دیکھ بھال اور دیگر وجوہات کے) |
XKH خدمات:
XKH سلکان کاربائیڈ ڈائمنڈ وائر کٹنگ مشین کی پوری پراسیس سروس فراہم کرتا ہے، بشمول آلات کا انتخاب (وائر ڈائی میٹر/وائر اسپیڈ میچنگ)، پروسیس ڈیولپمنٹ (کٹنگ پیرامیٹر آپٹیمائزیشن)، استعمال کی اشیاء کی سپلائی (ہیرے کے تار، گائیڈ وہیل) اور فروخت کے بعد سپورٹ (آلات کی دیکھ بھال، معیار کا تجزیہ)، صارفین کو کم لاگت حاصل کرنے میں مدد کرنے کے لیے، صارفین کو کم لاگت حاصل کرنے میں مدد ملتی ہے۔ یہ 4-8 ہفتے کے لیڈ ٹائم کے ساتھ حسب ضرورت اپ گریڈ (جیسے انتہائی پتلی کٹنگ، خودکار لوڈنگ اور ان لوڈنگ) بھی پیش کرتا ہے۔
تفصیلی خاکہ
