اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت کے ساتھ ویفر کیریئر کے لیے SiC سیرامک ٹرے
سلیکن کاربائیڈ سیرامک ٹرے (SiC ٹرے)
سلکان کاربائیڈ (SiC) مواد پر مبنی ایک اعلیٰ کارکردگی والا سیرامک جزو، جو جدید صنعتی ایپلی کیشنز جیسے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ اور ایل ای ڈی پروڈکشن کے لیے تیار کیا گیا ہے۔ اس کے بنیادی افعال میں ویفر کیریئر کے طور پر خدمات انجام دینا، اینچنگ پروسیس پلیٹ فارم، یا اعلی درجہ حرارت کے عمل میں معاونت، غیر معمولی تھرمل چالکتا، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، اور کیمیائی استحکام کو یقینی بنانا شامل ہے تاکہ عمل کی یکسانیت اور مصنوعات کی پیداوار کو یقینی بنایا جا سکے۔
کلیدی خصوصیات
1. تھرمل کارکردگی
- ہائی تھرمل چالکتا: 140–300 W/m·K، نمایاں طور پر روایتی گریفائٹ (85 W/m·K) کو پیچھے چھوڑتے ہوئے، تیزی سے گرمی کی کھپت اور تھرمل تناؤ کو کم کرنے کے قابل بناتا ہے۔
- کم تھرمل ایکسپینشن گتانک: 4.0×10⁻⁶/℃ (25–1000℃)، قریب سے مماثل سلکان (2.6×10⁻⁶/℃)، تھرمل اخترتی کے خطرات کو کم سے کم کرتا ہے۔
2. مکینیکل پراپرٹیز
- اعلی طاقت: لچکدار طاقت ≥320 MPa (20℃)، کمپریشن اور اثر کے خلاف مزاحم۔
- زیادہ سختی: Mohs سختی 9.5، ہیرے کے بعد دوسرے نمبر پر، پہننے کی اعلیٰ مزاحمت پیش کرتا ہے۔
3. کیمیائی استحکام
- سنکنرن مزاحمت: مضبوط تیزاب کے خلاف مزاحم (مثال کے طور پر، HF، H₂SO₄)، اینچنگ کے عمل کے ماحول کے لیے موزوں۔
- غیر مقناطیسی: اندرونی مقناطیسی حساسیت <1×10⁻⁶ emu/g، درست آلات کے ساتھ مداخلت سے گریز۔
4. انتہائی ماحولیاتی رواداری
- اعلی درجہ حرارت کی استحکام: طویل مدتی آپریشنل درجہ حرارت 1600–1900℃ تک؛ 2200℃ (آکسیجن فری ماحول) تک قلیل مدتی مزاحمت۔
- تھرمل شاک ریزسٹنس: کریکنگ کے بغیر درجہ حرارت کی اچانک تبدیلیوں (ΔT >1000℃) کو برداشت کرتا ہے۔
ایپلی کیشنز
| درخواست کا میدان | مخصوص منظرنامے | تکنیکی قدر |
| سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ | ویفر ایچنگ (ICP)، پتلی فلم جمع (MOCVD)، CMP پالش | اعلی تھرمل چالکتا یکساں درجہ حرارت والے شعبوں کو یقینی بناتی ہے۔ کم تھرمل توسیع ویفر وار پیج کو کم سے کم کرتی ہے۔ |
| ایل ای ڈی کی پیداوار | ایپیٹیکسیل گروتھ (مثال کے طور پر، جی اے این)، ویفر ڈائسنگ، پیکیجنگ | کثیر قسم کے نقائص کو دباتا ہے، ایل ای ڈی برائٹ کارکردگی اور عمر کو بڑھاتا ہے۔ |
| فوٹو وولٹک انڈسٹری | سلکان ویفر sintering بھٹی، PECVD سامان کی حمایت کرتا ہے | اعلی درجہ حرارت اور تھرمل جھٹکا مزاحمت سامان کی عمر کو بڑھاتا ہے۔ |
| لیزر اور آپٹکس | ہائی پاور لیزر کولنگ سبسٹریٹس، آپٹیکل سسٹم سپورٹ کرتا ہے۔ | اعلی تھرمل چالکتا آپٹیکل اجزاء کو مستحکم کرتے ہوئے، تیزی سے گرمی کی کھپت کو قابل بناتا ہے۔ |
| تجزیاتی آلات | TGA/DSC سیمپل ہولڈرز | کم گرمی کی گنجائش اور تیز تھرمل ردعمل پیمائش کی درستگی کو بہتر بناتا ہے۔ |
پیداوار کے فوائد
- جامع کارکردگی: تھرمل چالکتا، طاقت، اور سنکنرن مزاحمت ایلومینا اور سلکان نائٹرائڈ سیرامکس سے کہیں زیادہ ہے، جو انتہائی آپریشنل تقاضوں کو پورا کرتی ہے۔
- ہلکا پھلکا ڈیزائن: 3.1–3.2 g/cm³ (اسٹیل کا 40%) کی کثافت، جڑنا بوجھ کو کم کرنا اور حرکت کی درستگی کو بڑھانا۔
- لمبی عمر اور وشوسنییتا: سروس کی زندگی 1600 ℃ پر 5 سال سے زیادہ ہے، ڈاؤن ٹائم کو کم کرتی ہے اور آپریشنل لاگت کو 30٪ کم کرتی ہے۔
- حسب ضرورت: درست ایپلی کیشنز کے لیے فلیٹنیس ایرر <15 μm کے ساتھ پیچیدہ جیومیٹریز (مثلاً غیر محفوظ سکشن کپ، ملٹی لیئر ٹرے) کو سپورٹ کرتا ہے۔
تکنیکی وضاحتیں
| پیرامیٹر کیٹیگری | اشارے |
| جسمانی خصوصیات | |
| کثافت | ≥3.10 g/cm³ |
| لچکدار طاقت (20℃) | 320–410 ایم پی اے |
| تھرمل چالکتا (20℃) | 140–300 W/(m·K) |
| تھرمل ایکسپینشن گتانک (25–1000℃) | 4.0×10⁻⁶/℃ |
| کیمیائی خصوصیات | |
| تیزاب کی مزاحمت (HF/H₂SO₄) | 24 گھنٹے وسرجن کے بعد کوئی سنکنرن نہیں۔ |
| مشینی صحت سے متعلق | |
| چپٹا پن | ≤15 μm (300×300 mm) |
| سطح کی کھردری (Ra) | ≤0.4 μm |
XKH کی خدمات
XKH جامع صنعتی حل فراہم کرتا ہے جس میں اپنی مرضی کے مطابق ترقی، درستگی کی مشینی، اور سخت کوالٹی کنٹرول شامل ہیں۔ اپنی مرضی کے مطابق ترقی کے لیے، یہ سیمی کنڈکٹرز اور ایرو اسپیس جیسی ایپلی کیشنز کے لیے پیچیدہ جیومیٹریز کو بہتر بنانے کے لیے 3D ماڈلنگ اور سمولیشن کے ساتھ جوڑا بنا ہوا اعلیٰ طہارت (>99.999%) اور غیر محفوظ (30-50% پوروسیٹی) مواد کے حل پیش کرتا ہے۔ صحت سے متعلق مشینی ایک ہموار عمل کی پیروی کرتی ہے: پاؤڈر پروسیسنگ → آئسوسٹیٹک/ ڈرائی پریسنگ → 2200 ° C سنٹرنگ → CNC/ ڈائمنڈ گرائنڈنگ → معائنہ، نینو میٹر سطح کی پالش اور ±0.01 ملی میٹر جہتی رواداری کو یقینی بنانا۔ کوالٹی کنٹرول میں مکمل عمل کی جانچ (XRD کمپوزیشن، SEM مائیکرو اسٹرکچر، 3 پوائنٹ موڑنے) اور تکنیکی مدد (عمل کی اصلاح، 24/7 مشاورت، 48 گھنٹے نمونے کی ترسیل) شامل ہیں، اعلی درجے کی صنعتی ضروریات کے لیے قابل اعتماد، اعلی کارکردگی والے اجزاء کی فراہمی۔
اکثر پوچھے گئے سوالات (FAQ)
1. سوال: کون سی صنعتیں سلکان کاربائیڈ سیرامک ٹرے استعمال کرتی ہیں؟
A: سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ (وفر ہینڈلنگ)، سولر انرجی (PECVD پروسیس)، طبی آلات (MRI اجزاء)، اور ایرو اسپیس (اعلی درجہ حرارت والے حصے) میں ان کی شدید گرمی کی مزاحمت اور کیمیائی استحکام کی وجہ سے بڑے پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔
2. سوال: سلکان کاربائیڈ کوارٹج/گلاس ٹرے کو کس طرح بہتر بناتی ہے؟
A: اعلی تھرمل جھٹکا مزاحمت (1800 ° C بمقابلہ کوارٹز 1100 ° C)، صفر مقناطیسی مداخلت، اور طویل عمر (5+ سال بمقابلہ کوارٹز 6-12 ماہ)۔
3. سوال: کیا سلکان کاربائیڈ ٹرے تیزابی ماحول کو سنبھال سکتی ہیں؟
A: ہاں۔ <0.01 ملی میٹر سنکنرن/سال کے ساتھ HF، H2SO4، اور NaOH کے خلاف مزاحم، انہیں کیمیکل اینچنگ اور ویفر کی صفائی کے لیے مثالی بناتا ہے۔
4. سوال: کیا سلکان کاربائیڈ ٹرے آٹومیشن کے ساتھ مطابقت رکھتی ہیں؟
A: ہاں۔ ویکیوم پک اپ اور روبوٹک ہینڈلنگ کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جس میں سطح کی ہمواری <0.01 ملی میٹر ہے تاکہ خودکار فیبس میں ذرات کی آلودگی کو روکا جا سکے۔
5. سوال: قیمت کا موازنہ بمقابلہ روایتی مواد کیا ہے؟
A: اعلیٰ پیشگی لاگت (3-5x کوارٹز) لیکن 30-50% کم TCO— توسیع شدہ عمر، کم ڈاؤن ٹائم، اور اعلی تھرمل چالکتا سے توانائی کی بچت کی وجہ سے۔
