ICP کے لیے 4 انچ 6 انچ ویفر ہولڈر کے لیے SiC سیرامک پلیٹ/ٹرے
SiC سیرامک پلیٹ خلاصہ
SiC سیرامک پلیٹ ایک اعلیٰ کارکردگی والا جزو ہے جو اعلیٰ پاکیزگی والے سلکان کاربائیڈ سے تیار کیا گیا ہے، جسے انتہائی تھرمل، کیمیائی اور مکینیکل ماحول میں استعمال کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اپنی غیر معمولی سختی، تھرمل چالکتا، اور سنکنرن مزاحمت کے لیے مشہور، SiC پلیٹ وسیع پیمانے پر سیمی کنڈکٹر، ایل ای ڈی، فوٹوولٹک، اور ایرو اسپیس صنعتوں میں ویفر کیریئر، سسپٹر، یا ساختی جزو کے طور پر استعمال ہوتی ہے۔
1600 ° C تک شاندار تھرمل استحکام اور رد عمل والی گیسوں اور پلازما ماحول کے خلاف بہترین مزاحمت کے ساتھ، SiC پلیٹ اعلی درجہ حرارت کی اینچنگ، جمع کرنے، اور بازی کے عمل کے دوران مسلسل کارکردگی کو یقینی بناتی ہے۔ اس کا گھنا، غیر غیر محفوظ مائیکرو اسٹرکچر ذرہ کی پیداوار کو کم کرتا ہے، جو اسے ویکیوم یا کلین روم سیٹنگز میں انتہائی کلین ایپلی کیشنز کے لیے مثالی بناتا ہے۔
SiC سیرامک پلیٹ کی درخواست
1. سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ
SiC سیرامک پلیٹیں عام طور پر سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن آلات جیسے CVD (کیمیائی بخارات جمع کرنے)، PVD (جسمانی بخارات جمع کرنے)، اور اینچنگ سسٹمز میں ویفر کیریئرز، سسپٹرز، اور پیڈسٹل پلیٹوں کے طور پر استعمال ہوتی ہیں۔ ان کی بہترین تھرمل چالکتا اور کم تھرمل توسیع انہیں درجہ حرارت کی یکساں تقسیم کو برقرار رکھنے کی اجازت دیتی ہے، جو کہ اعلیٰ صحت سے متعلق ویفر پروسیسنگ کے لیے اہم ہے۔ corrosive گیسوں اور پلازما کے خلاف SiC کی مزاحمت سخت ماحول میں پائیداری کو یقینی بناتی ہے، جس سے ذرات کی آلودگی کو کم کرنے اور آلات کی دیکھ بھال میں مدد ملتی ہے۔
2. ایل ای ڈی انڈسٹری - آئی سی پی ایچنگ
LED مینوفیکچرنگ سیکٹر میں، SiC پلیٹیں ICP (Inductively Coupled Plasma) ایچنگ سسٹمز میں کلیدی اجزاء ہیں۔ ویفر ہولڈرز کے طور پر کام کرتے ہوئے، وہ پلازما پروسیسنگ کے دوران سیفائر یا GaN ویفرز کو سپورٹ کرنے کے لیے ایک مستحکم اور تھرمل طور پر مضبوط پلیٹ فارم مہیا کرتے ہیں۔ ان کی بہترین پلازما مزاحمت، سطح کا چپٹا پن، اور جہتی استحکام اعلی اینچنگ کی درستگی اور یکسانیت کو یقینی بنانے میں مدد کرتا ہے، جس کی وجہ سے ایل ای ڈی چپس میں پیداوار اور ڈیوائس کی کارکردگی میں اضافہ ہوتا ہے۔
3. فوٹوولٹکس (PV) اور شمسی توانائی
SiC سیرامک پلیٹیں شمسی سیل کی پیداوار میں بھی استعمال کی جاتی ہیں، خاص طور پر اعلی درجہ حرارت کے sintering اور annealing کے مراحل کے دوران۔ بلند درجہ حرارت پر ان کی جڑت اور وارپنگ کے خلاف مزاحمت کرنے کی صلاحیت سلیکون ویفرز کی مسلسل پروسیسنگ کو یقینی بناتی ہے۔ مزید برآں، ان کی کم آلودگی کا خطرہ فوٹو وولٹک خلیوں کی کارکردگی کو برقرار رکھنے کے لیے بہت ضروری ہے۔
SiC سیرامک پلیٹ پراپرٹیز
1. غیر معمولی مکینیکل طاقت اور سختی۔
SiC سیرامک پلیٹیں بہت زیادہ مکینیکل طاقت کی نمائش کرتی ہیں، جس میں عام لچکدار طاقت 400 MPa سے زیادہ ہوتی ہے اور Vickers کی سختی> 2000 HV تک پہنچ جاتی ہے۔ یہ انہیں مکینیکل پہننے، رگڑنے اور خرابی کے خلاف انتہائی مزاحم بناتا ہے، زیادہ بوجھ یا بار بار تھرمل سائیکلنگ کے باوجود طویل سروس کی زندگی کو یقینی بناتا ہے۔
2. ہائی تھرمل چالکتا
SiC میں بہترین تھرمل چالکتا ہے (عام طور پر 120–200 W/m·K)، جس سے یہ اپنی سطح پر گرمی کو یکساں طور پر تقسیم کر سکتا ہے۔ یہ خاصیت ویفر ایچنگ، ڈیپوزیشن، یا سنٹرنگ جیسے عمل میں اہم ہے، جہاں درجہ حرارت کی یکسانیت مصنوعات کی پیداوار اور معیار کو براہ راست متاثر کرتی ہے۔
3. اعلیٰ تھرمل استحکام
اعلی پگھلنے والے نقطہ (2700°C) اور تھرمل توسیع کے کم گتانک (4.0 × 10⁻⁶/K) کے ساتھ، SiC سیرامک پلیٹیں تیز حرارتی اور کولنگ سائیکل کے تحت جہتی درستگی اور ساختی سالمیت کو برقرار رکھتی ہیں۔ یہ انہیں اعلی درجہ حرارت والی بھٹیوں، ویکیوم چیمبرز، اور پلازما کے ماحول میں ایپلی کیشنز کے لیے مثالی بناتا ہے۔
| تکنیکی خصوصیات | ||||
| انڈیکس | یونٹ | قدر | ||
| مواد کا نام | رد عمل Sintered سلیکن کاربائڈ | پریشر لیس سینٹرڈ سلکان کاربائیڈ | سلیکن کاربائیڈ کو دوبارہ ترتیب دیا گیا۔ | |
| ترکیب | RBSiC | SSiC | R-SiC | |
| بلک کثافت | g/cm3 | 3 | 3.15 ± 0.03 | 2.60-2.70 |
| لچکدار طاقت | MPa (kpsi) | 338(49) | 380(55) | 80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
| دبانے والی طاقت | MPa (kpsi) | 1120(158) | 3970(560) | > 600 |
| سختی | نوپ | 2700 | 2800 | / |
| بریکنگ ٹینسیٹی | ایم پی اے ایم 1/2 | 4.5 | 4 | / |
| تھرمل چالکتا | W/mk | 95 | 120 | 23 |
| تھرمل توسیع کا گتانک | 10-6.1/°C | 5 | 4 | 4.7 |
| مخصوص حرارت | Joule/g 0k | 0.8 | 0.67 | / |
| ہوا میں زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت | ℃ | 1200 | 1500 | 1600 |
| لچکدار ماڈیولس | جی پی اے | 360 | 410 | 240 |
SiC سیرامک پلیٹ سوال و جواب
سوال: سلکان کاربائیڈ پلیٹ کی خصوصیات کیا ہیں؟
A: سلکان کاربائیڈ (SiC) پلیٹیں اپنی اعلیٰ طاقت، سختی، اور تھرمل استحکام کے لیے مشہور ہیں۔ وہ بہترین تھرمل چالکتا اور کم تھرمل توسیع پیش کرتے ہیں، انتہائی درجہ حرارت میں قابل اعتماد کارکردگی کو یقینی بناتے ہیں۔ SiC کیمیائی طور پر بھی غیر فعال ہے، تیزاب، الکلیس، اور پلازما ماحول کے خلاف مزاحم ہے، جو اسے سیمی کنڈکٹر اور ایل ای ڈی پروسیسنگ کے لیے مثالی بناتا ہے۔ اس کی گھنی، ہموار سطح ذرات کی پیداوار کو کم کرتی ہے، کلین روم کی مطابقت کو برقرار رکھتی ہے۔ سیمی کنڈکٹر، فوٹوولٹک، اور ایرو اسپیس صنعتوں میں SiC پلیٹوں کو بڑے پیمانے پر ویفر کیریئرز، سسپٹرز، اور اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن ماحول میں معاون اجزاء کے طور پر استعمال کیا جاتا ہے۔
