ویفر کیرینگ کے لیے SiC سیرامک اینڈ انفیکٹر ہینڈنگ آرم
SiC سیرامک اینڈ انفیکٹر خلاصہ
SiC (Silicon Carbide) سیرامک اینڈ-ایفیکٹر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ اور جدید مائیکرو فیبریکیشن ماحول میں استعمال ہونے والے اعلیٰ درستگی والے ویفر ہینڈلنگ سسٹمز میں ایک اہم جزو ہے۔ انتہائی صاف، اعلیٰ درجہ حرارت، اور انتہائی مستحکم ماحول کی متقاضی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے انجنیئر کیا گیا، یہ خصوصی اختتامی اثر لیتھوگرافی، اینچنگ اور جمع کرنے جیسے اہم پیداواری مراحل کے دوران ویفرز کی قابل اعتماد اور آلودگی سے پاک نقل و حمل کو یقینی بناتا ہے۔
سلیکون کاربائیڈ کی اعلیٰ مادی خصوصیات کا فائدہ اٹھانا — جیسے کہ اعلی تھرمل چالکتا، انتہائی سختی، بہترین کیمیائی جڑت، اور کم سے کم تھرمل توسیع — SiC سیرامک اینڈ ایفیکٹر بے مثال میکانکی سختی اور جہتی استحکام فراہم کرتا ہے یہاں تک کہ تیز تھرمل سائیکلنگ کے تحت یا سنکنرن عمل کے چیمبروں میں بھی۔ اس کی کم پارٹیکل جنریشن اور پلازما مزاحمتی خصوصیات اسے کلین روم اور ویکیوم پروسیسنگ ایپلی کیشنز کے لیے خاص طور پر موزوں بناتی ہیں، جہاں ویفر کی سطح کی سالمیت کو برقرار رکھنا اور ذرات کی آلودگی کو کم کرنا سب سے اہم ہے۔
SiC سیرامک اینڈ انفیکٹر ایپلی کیشن
1. سیمی کنڈکٹر ویفر ہینڈلنگ
SiC سیرامک اینڈ ایفیکٹرز سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں خودکار پیداوار کے دوران سلکان ویفرز کو سنبھالنے کے لیے بڑے پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں۔ یہ اینڈ ایفیکٹرز عام طور پر روبوٹک آرمز یا ویکیوم ٹرانسفر سسٹم پر نصب ہوتے ہیں اور مختلف سائز کے ویفرز جیسے کہ 200 ملی میٹر اور 300 ملی میٹر کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں۔ وہ کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD)، جسمانی بخارات جمع کرنے (PVD)، نقاشی، اور پھیلاؤ سمیت عمل میں ضروری ہیں—جہاں اعلی درجہ حرارت، ویکیوم حالات، اور سنکنرن گیسیں عام ہیں۔ SiC کی غیر معمولی تھرمل مزاحمت اور کیمیائی استحکام اسے بغیر کسی انحطاط کے ایسے سخت ماحول کو برداشت کرنے کے لیے ایک مثالی مواد بناتا ہے۔
2. کلین روم اور ویکیوم مطابقت
کلین روم اور ویکیوم سیٹنگز میں، جہاں ذرات کی آلودگی کو کم کرنا ضروری ہے، SiC سیرامکس اہم فوائد پیش کرتے ہیں۔ مواد کی گھنی، ہموار سطح ذرہ پیدا کرنے کے خلاف مزاحمت کرتی ہے، نقل و حمل کے دوران ویفر کی سالمیت کو برقرار رکھنے میں مدد کرتی ہے۔ یہ ایس آئی سی اینڈ ایفیکٹرز کو خاص طور پر انتہائی الٹرا وائلٹ لیتھوگرافی (EUV) اور اٹامک لیئر ڈیپوزیشن (ALD) جیسے اہم عمل کے لیے موزوں بناتا ہے، جہاں صفائی بہت ضروری ہے۔ مزید برآں، SiC کی کم آؤٹ گیسنگ اور ہائی پلازما مزاحمت ویکیوم چیمبرز میں قابل اعتماد کارکردگی کو یقینی بناتی ہے، ٹولز کی عمر کو بڑھاتی ہے اور دیکھ بھال کی فریکوئنسی کو کم کرتی ہے۔
3. اعلی صحت سے متعلق پوزیشننگ سسٹم
درستگی اور استحکام جدید ویفر ہینڈلنگ سسٹمز، خاص طور پر میٹرولوجی، معائنہ، اور سیدھ سازی کے آلات میں اہم ہیں۔ SiC سیرامکس میں تھرمل توسیع اور اعلی سختی کا انتہائی کم گتانک ہوتا ہے، جو تھرمل سائیکلنگ یا مکینیکل بوجھ کے تحت بھی اختتامی اثر کو اپنی ساختی درستگی کو برقرار رکھنے کی اجازت دیتا ہے۔ یہ اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ نقل و حمل کے دوران ویفرز بالکل سیدھ میں رہیں، مائیکرو سکریچز، غلط ترتیب، یا پیمائش کی غلطیوں کے خطرے کو کم سے کم کریں- وہ عوامل جو ذیلی 5nm پروسیس نوڈس پر تیزی سے اہم ہیں۔
SiC سیرامک اینڈ انفیکٹر پراپرٹیز
1. اعلی مکینیکل طاقت اور سختی
SiC سیرامکس غیر معمولی مکینیکل طاقت رکھتے ہیں، جس میں لچکدار طاقت اکثر 400 MPa سے زیادہ ہوتی ہے اور Vickers کی سختی کی قدر 2000 HV سے زیادہ ہوتی ہے۔ یہ طویل آپریشنل استعمال کے بعد بھی انہیں مکینیکل تناؤ، اثرات اور پہننے کے لیے انتہائی مزاحم بناتا ہے۔ SiC کی اعلی سختی تیز رفتار ویفر کی منتقلی کے دوران انحراف کو بھی کم کرتی ہے، درست اور دوبارہ قابل پوزیشننگ کو یقینی بناتی ہے۔
2. بہترین تھرمل استحکام
SiC سیرامکس کی سب سے قیمتی خصوصیات میں سے ایک انتہائی اعلی درجہ حرارت کو برداشت کرنے کی ان کی صلاحیت ہے - اکثر غیر فعال ماحول میں 1600 ° C تک - میکانکی سالمیت کو کھونے کے بغیر۔ ان کا تھرمل توسیع کا کم گتانک (~4.0 x 10⁻⁶ /K) تھرمل سائیکلنگ کے تحت جہتی استحکام کو یقینی بناتا ہے، جو انہیں CVD، PVD، اور اعلی درجہ حرارت کی اینیلنگ جیسی ایپلی کیشنز کے لیے مثالی بناتا ہے۔
SiC سیرامک اینڈ انفیکٹر سوال و جواب
سوال: ویفر اینڈ انفیکٹر میں کون سا مواد استعمال ہوتا ہے؟
A:ویفر اینڈ ایفیکٹرز عام طور پر ایسے مواد سے بنائے جاتے ہیں جو اعلی طاقت، تھرمل استحکام اور کم ذرہ پیدا کرنے کی پیشکش کرتے ہیں۔ ان میں سے، Silicon Carbide (SiC) سرامک سب سے جدید اور ترجیحی مواد میں سے ایک ہے۔ SiC سیرامکس انتہائی سخت، تھرمل طور پر مستحکم، کیمیائی طور پر جڑے ہوئے، اور پہننے کے لیے مزاحم ہیں، جو انہیں کلین روم اور ویکیوم ماحول میں نازک سلکان ویفرز کو سنبھالنے کے لیے مثالی بناتے ہیں۔ کوارٹج یا لیپت دھاتوں کے مقابلے میں، SiC اعلی درجہ حرارت کے تحت اعلی جہتی استحکام پیش کرتا ہے اور ذرات نہیں بہاتا، جو آلودگی کو روکنے میں مدد کرتا ہے۔
