سلکان ویفر سبسٹریٹ پر سلیکن ایٹموں کی ایک اضافی پرت اگانے کے کئی فوائد ہیں:
CMOS سلکان کے عمل میں، ویفر سبسٹریٹ پر ایپیٹیکسیل گروتھ (EPI) ایک اہم عمل مرحلہ ہے۔
1، کرسٹل کے معیار کو بہتر بنانا
ابتدائی سبسٹریٹ کے نقائص اور نجاست: مینوفیکچرنگ کے عمل کے دوران، ویفر سبسٹریٹ میں کچھ نقائص اور نجاستیں ہوسکتی ہیں۔ ایپیٹیکسیل پرت کی نشوونما سبسٹریٹ پر نقائص اور نجاستوں کی کم ارتکاز کے ساتھ ایک اعلی معیار کی مونوکریسٹل لائن سلکان پرت پیدا کر سکتی ہے، جو بعد میں ڈیوائس بنانے کے لیے بہت ضروری ہے۔
یکساں کرسٹل ڈھانچہ: Epitaxial نمو زیادہ یکساں کرسٹل ڈھانچہ کو یقینی بناتی ہے، جو اناج کی حدود اور سبسٹریٹ مواد میں نقائص کے اثرات کو کم کرتی ہے، اس طرح ویفر کے مجموعی کرسٹل معیار کو بہتر بناتی ہے۔
2، بجلی کی کارکردگی کو بہتر بنائیں۔
ڈیوائس کی خصوصیات کو بہتر بنانا: سبسٹریٹ پر ایپیٹیکسیل پرت کو بڑھا کر، ڈوپنگ کے ارتکاز اور سلیکون کی قسم کو درست طریقے سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے، جو ڈیوائس کی برقی کارکردگی کو بہتر بناتا ہے۔ مثال کے طور پر، epitaxial تہہ کی ڈوپنگ کو MOSFETs اور دیگر برقی پیرامیٹرز کے تھریشولڈ وولٹیج کو کنٹرول کرنے کے لیے باریک ایڈجسٹ کیا جا سکتا ہے۔
رساو کرنٹ کو کم کرنا: ایک اعلیٰ قسم کی ایپیٹیکسیل پرت میں خرابی کی کثافت کم ہوتی ہے، جو آلات میں رساو کرنٹ کو کم کرنے میں مدد کرتی ہے، اس طرح ڈیوائس کی کارکردگی اور بھروسے میں بہتری آتی ہے۔
3، بجلی کی کارکردگی کو بہتر بنائیں۔
فیچر سائز کو کم کرنا: چھوٹے پروسیس نوڈس (جیسے 7nm، 5nm) میں، ڈیوائسز کا فیچر سائز سکڑتا رہتا ہے، جس کے لیے زیادہ بہتر اور اعلیٰ معیار کے مواد کی ضرورت ہوتی ہے۔ ایپیٹیکسیل گروتھ ٹکنالوجی ان مطالبات کو پورا کر سکتی ہے ، جو اعلی کارکردگی اور اعلی کثافت والے مربوط سرکٹس کی تیاری میں معاون ہے۔
بریک ڈاؤن وولٹیج کو بڑھانا: Epitaxial تہوں کو زیادہ بریک ڈاؤن وولٹیج کے ساتھ ڈیزائن کیا جا سکتا ہے، جو کہ ہائی پاور اور ہائی وولٹیج ڈیوائسز کی تیاری کے لیے اہم ہے۔ مثال کے طور پر، پاور ڈیوائسز میں، ایپیٹیکسیل پرتیں ڈیوائس کے بریک ڈاؤن وولٹیج کو بہتر بنا سکتی ہیں، محفوظ آپریٹنگ رینج کو بڑھاتی ہیں۔
4، عمل کی مطابقت اور ملٹی لیئر سٹرکچرز
ملٹی لیئر سٹرکچرز: ایپیٹیکسیل گروتھ ٹیکنالوجی سبسٹریٹس پر ملٹی لیئر ڈھانچے کی نشوونما کی اجازت دیتی ہے، جس میں مختلف پرتوں میں ڈوپنگ کی مقدار اور اقسام مختلف ہوتی ہیں۔ یہ پیچیدہ CMOS آلات کی تیاری اور تین جہتی انضمام کو فعال کرنے کے لیے انتہائی فائدہ مند ہے۔
مطابقت: epitaxial ترقی کا عمل موجودہ CMOS مینوفیکچرنگ کے عمل کے ساتھ انتہائی مطابقت رکھتا ہے، جس سے عمل کی لائنوں میں اہم ترمیم کی ضرورت کے بغیر موجودہ مینوفیکچرنگ ورک فلو میں ضم کرنا آسان ہوجاتا ہے۔
خلاصہ: CMOS سلکان کے عمل میں ایپیٹیکسیل نمو کے اطلاق کا بنیادی مقصد ویفر کرسٹل کے معیار کو بڑھانا، ڈیوائس کی برقی کارکردگی کو بہتر بنانا، جدید پروسیس نوڈس کو سپورٹ کرنا اور اعلیٰ کارکردگی اور اعلی کثافت والے مربوط سرکٹ مینوفیکچرنگ کے تقاضوں کو پورا کرنا ہے۔ ایپیٹیکسیل گروتھ ٹکنالوجی مواد کی ڈوپنگ اور ساخت کے عین مطابق کنٹرول کی اجازت دیتی ہے، آلات کی مجموعی کارکردگی اور وشوسنییتا کو بہتر بناتی ہے۔
پوسٹ ٹائم: اکتوبر 16-2024