8 انچ SiC پروڈکشن گریڈ ویفر 4H-N SiC سبسٹریٹ
مندرجہ ذیل جدول ہمارے 8 انچ کے سی سی ویفرز کی خصوصیات کو ظاہر کرتا ہے:
| 8 انچ N-type SiC DSP اسپیکس | |||||
| نمبر | آئٹم | یونٹ | پیداوار | تحقیق | ڈمی |
| 1: پیرامیٹرز | |||||
| 1.1 | پولی ٹائپ | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | سطح کی واقفیت | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: برقی پیرامیٹر | |||||
| 2.1 | ڈوپینٹ | -- | این ٹائپ نائٹروجن | این ٹائپ نائٹروجن | این ٹائپ نائٹروجن |
| 2.2 | مزاحمت | اوہم · سینٹی میٹر | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: مکینیکل پیرامیٹر | |||||
| 3.1 | قطر | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | موٹائی | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | نشان واقفیت | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | نشان گہرائی | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | ٹی ٹی وی | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | رکوع | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | وارپ | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | اے ایف ایم | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: ساخت | |||||
| 4.1 | مائکرو پائپ کثافت | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | دھاتی مواد | ایٹم/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | ٹی ایس ڈی | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | بی پی ڈی | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | ٹی ای ڈی | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. فرنٹ کوالٹی | |||||
| 5.1 | سامنے | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | سطح ختم | -- | سی-فیس سی ایم پی | سی-فیس سی ایم پی | سی-فیس سی ایم پی |
| 5.3 | ذرہ | ea/wafer | ≤100(سائز≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | خروںچ | ea/wafer | ≤5، کل لمبائی≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | کنارہ چپس/انڈینٹ/کریکس/داغ/آلودگی | -- | کوئی نہیں۔ | کوئی نہیں۔ | NA |
| 5.6 | پولی ٹائپ ایریاز | -- | کوئی نہیں۔ | رقبہ ≤10% | رقبہ ≤30% |
| 5.7 | سامنے کا نشان | -- | کوئی نہیں۔ | کوئی نہیں۔ | کوئی نہیں۔ |
| 6: بیک کوالٹی | |||||
| 6.1 | واپس ختم | -- | سی چہرہ ایم پی | سی چہرہ ایم پی | سی چہرہ ایم پی |
| 6.2 | خروںچ | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | پیچھے نقائص کنارے چپس/انڈینٹ | -- | کوئی نہیں۔ | کوئی نہیں۔ | NA |
| 6.4 | پیچھے کا کھردرا پن | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | بیک مارکنگ | -- | نشان | نشان | نشان |
| 7: کنارے | |||||
| 7.1 | کنارے | -- | چمفر | چمفر | چمفر |
| 8: پیکج | |||||
| 8.1 | پیکجنگ | -- | ویکیوم کے ساتھ ایپی تیار پیکجنگ | ویکیوم کے ساتھ ایپی تیار پیکجنگ | ویکیوم کے ساتھ ایپی تیار پیکجنگ |
| 8.2 | پیکجنگ | -- | ملٹی ویفر کیسٹ پیکیجنگ | ملٹی ویفر کیسٹ پیکیجنگ | ملٹی ویفر کیسٹ پیکیجنگ |
تفصیلی خاکہ
اپنا پیغام یہاں لکھیں اور ہمیں بھیجیں۔
