156 ملی میٹر 159 ملی میٹر 6 انچ سیفائر ویفر برائے کیریئر سی-پلین ڈی ایس پی ٹی ٹی وی
تفصیلات
| آئٹم | 6 انچ کا سی طیارہ (0001) سیفائر ویفرز | |
| کرسٹل مواد | 99,999%، ہائی پیوریٹی، مونو کرسٹل لائن Al2O3 | |
| گریڈ | پرائم، ایپی ریڈی | |
| سطح کی واقفیت | سی طیارہ(0001) | |
| M-axis 0.2 +/- 0.1° کی طرف C-طیارہ آف زاویہ | ||
| قطر | 100.0 ملی میٹر +/- 0.1 ملی میٹر | |
| موٹائی | 650 μm +/- 25 μm | |
| پرائمری فلیٹ اورینٹیشن | C-plane(00-01) +/- 0.2° | |
| سنگل سائیڈ پالش | سامنے کی سطح | ایپی پالش، Ra <0.2 nm (بذریعہ AFM) |
| (ایس ایس پی) | پچھلی سطح | ٹھیک زمین، Ra = 0.8 μm سے 1.2 μm |
| ڈبل سائیڈ پالش | سامنے کی سطح | ایپی پالش، Ra <0.2 nm (بذریعہ AFM) |
| (ڈی ایس پی) | پچھلی سطح | ایپی پالش، Ra <0.2 nm (بذریعہ AFM) |
| ٹی ٹی وی | <20 μm | |
| BOW | <20 μm | |
| وارپ | <20 μm | |
| صفائی / پیکجنگ | کلاس 100 کلین روم کی صفائی اور ویکیوم پیکیجنگ، | |
| ایک کیسٹ پیکیجنگ یا سنگل پیس پیکیجنگ میں 25 ٹکڑے۔ | ||
Kylopoulos طریقہ (KY طریقہ) اس وقت چین میں بہت سی کمپنیاں الیکٹرانکس اور آپٹکس کی صنعتوں میں استعمال کے لیے نیلم کرسٹل بنانے کے لیے استعمال کرتی ہیں۔
اس عمل میں، 2100 ڈگری سیلسیس سے زیادہ درجہ حرارت پر اعلیٰ طہارت والے ایلومینیم آکسائیڈ کو ایک کروسیبل میں پگھلا دیا جاتا ہے۔ عام طور پر کروسیبل ٹنگسٹن یا مولیبڈینم سے بنا ہوتا ہے۔ ایک قطعی طور پر مبنی بیج کرسٹل پگھلے ہوئے ایلومینا میں ڈوبا ہوا ہے۔ بیج کا کرسٹل آہستہ آہستہ اوپر کی طرف کھینچا جاتا ہے اور اسے بیک وقت گھمایا جا سکتا ہے۔ درجہ حرارت کے میلان، کھینچنے کی شرح اور ٹھنڈک کی شرح کو درست طریقے سے کنٹرول کرتے ہوئے، پگھلنے سے ایک بڑا، سنگل کرسٹل، تقریباً بیلناکار انگوٹ تیار کیا جا سکتا ہے۔
سنگل کرسٹل نیلم کے انگوٹوں کے بڑھنے کے بعد، انہیں بیلناکار سلاخوں میں ڈرل کیا جاتا ہے، جنہیں پھر کھڑکی کی مطلوبہ موٹائی میں کاٹا جاتا ہے اور آخر میں مطلوبہ سطح پر پالش کیا جاتا ہے۔
تفصیلی خاکہ
