100mm 4inch GaN on Sapphire Epi-layer wafer Gallium nitride epitaxial wafer

(1) ہائی ٹمپریچر بیکنگ، سیفائر سبسٹریٹ کو پہلے ہائیڈروجن ماحول میں 1050℃ پر گرم کیا جاتا ہے، مقصد سبسٹریٹ کی سطح کو صاف کرنا ہے۔

(2) جب سبسٹریٹ کا درجہ حرارت 510 ℃ تک گر جاتا ہے، 30nm کی موٹائی کے ساتھ ایک کم درجہ حرارت کی GaN/AlN بفر پرت نیلم سبسٹریٹ کی سطح پر جمع ہو جاتی ہے۔

(3) درجہ حرارت 10 ℃ تک بڑھ جاتا ہے، ردعمل گیس امونیا، trimethylgallium اور silane کو انجکشن کیا جاتا ہے، بالترتیب متعلقہ بہاؤ کی شرح کو کنٹرول کرتا ہے، اور 4um موٹائی کے سلیکون ڈوپڈ N-type GaN کو اگایا جاتا ہے۔

(4) trimethyl المونیم اور trimethyl gallium کی ری ایکشن گیس سلکان ڈوپڈ N-type A⒑ براعظموں کو 0.15um کی موٹائی کے ساتھ تیار کرنے کے لیے استعمال کی گئی تھی۔

(5) 50nm Zn-doped InGaN کو بالترتیب 8O0℃ کے درجہ حرارت پر ٹرائیمتھائلگیلیم، ٹرائیمیتھیلنڈیم، ڈائیتھائلزنک اور امونیا کے انجیکشن لگا کر اور مختلف بہاؤ کی شرح کو کنٹرول کر کے تیار کیا گیا تھا۔

(6) درجہ حرارت کو 1020 ℃ تک بڑھایا گیا، ٹرائیمیتھائیلومینیم، ٹرائیمتھائلگیلیم اور بی آئی ایس (سائیکلوپینٹادینائل) میگنیشیم کو 0.15um Mg ڈوپڈ P-type AlGaN اور 0.5um Mg ڈوپڈ P-type G بلڈ گلوکوز تیار کرنے کے لیے لگایا گیا تھا۔

(7) اعلی معیار کی P-قسم کی GaN Sibuyan فلم نائٹروجن ماحول میں 700℃ پر اینیلنگ کے ذریعے حاصل کی گئی تھی۔

(8) N-type G stasis کی سطح کو ظاہر کرنے کے لیے P-type G stasis کی سطح پر اینچنگ؛

(9) p-GaNI سطح پر Ni/Au رابطہ پلیٹوں کا بخارات، ll-GaN سطح پر △/Al رابطہ پلیٹوں کا بخارات الیکٹروڈز بنانے کے لیے۔